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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与

现在磁控溅射镀膜遇到一个问题,做氮化钛,做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末,软软的,曾经检测过含氧,但处理了可能的问题之后还是没有什么变化,真空貌似没问题,用检漏仪检过的,运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题,现在不知道怎么回事,不知哪位大神可以指点一二,非常感谢!
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
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Smallpeng

木虫 (正式写手)

搞清楚那粉末是怎么回事了吗?是不是偏黄色的TiN粉末呢,由于在其他地方结合力不好,从而脱落到到整个腔体呢?
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
18楼2014-08-25 17:38:37
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查看全部 21 个回答

love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 有帮助。 2013-06-08 08:08:31
我也做的是磁控溅射镀膜!觉得应该是电流没调好吧 !所以整个腔体内都被镀膜了!
你若安好便是晴天!
2楼2013-06-07 22:16:19
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-07 22:16:19
我也做的是磁控溅射镀膜!觉得应该是电流没调好吧 !所以整个腔体内都被镀膜了!

黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
3楼2013-06-08 08:00:19
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-09 16:28:01
本帖内容被屏蔽

4楼2013-06-08 14:37:28
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