应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
211/3返回列表123下一页
查看: 3393  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与

现在磁控溅射镀膜遇到一个问题，做氮化钛，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，软软的，曾经检测过含氧，但处理了可能的问题之后还是没有什么变化，真空貌似没问题，用检漏仪检过的，运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题，现在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指点一二，非常感谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 Target and film 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
1楼 2013-06-07 17:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-09 10:24:25
多谢啦  黑色东西挺多  而且很长时间  不见减少，应该是持续生成，刚换气体没反应，应该不是来自气体。用的是扩散泵。...

用扩散泵做磁控溅射？
估计是扩散泵油挥发到腔体内，被碳化了吧？

有用扩散泵做磁控溅射的？
我第一次听说，我一直用分子泵的。
赞一下(1人) 回复此楼
12楼2013-06-12 11:17:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
13楼: Originally posted by zsy1207333 at 2013-06-15 21:10:51
谁知道   他们选的泵  我以前见也是用分子泵 我摸了摸 泵上半部分是凉的  不热啊  只是下面貌似热的连标签纸都要掉了,泵外面颜色都有点发灰了  失去金属光泽了 像是被污染...

冷不冷和挥发不挥发没什么关系
有可能是扩散泵油分子跑到腔内了
赞一下(1人) 回复此楼
14楼2013-06-15 23:05:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 有帮助。 2013-06-08 08:08:31
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！
赞一下 回复此楼
你若安好便是晴天！
2楼2013-06-07 22:16:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-07 22:16:19
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！

黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)
赞一下 回复此楼
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
3楼2013-06-08 08:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-09 16:28:01
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-08 14:37:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by fuyadong01 at 2013-06-08 14:37:28
黑色物质多吗？
首先检查靶材纯度和气体纯度；
另外如果真空泵的油质量不好的话，会向真空腔室挥发，建议保养真空泵，且要消除漏油隐患。
祝好！

多谢啦  黑色东西挺多  而且很长时间  不见减少，应该是持续生成，刚换气体没反应，应该不是来自气体。用的是扩散泵。
赞一下 回复此楼
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
5楼2013-06-09 09:24:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天之蓝心

木虫 (正式写手)

五月散人

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-10 12:39:40
看来是你的靶材有问题。
赞一下 回复此楼
他大舅他二舅都是他舅
6楼2013-06-09 12:13:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
fbqrdzs: 金币+1, 有帮助。 2013-06-09 16:28:19
fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 有帮助。 2013-06-10 12:39:59
你用的是油扩散泵吧  有可能是扩散泵密封有问题，黑色物质EDS分析含氧，认为是油被分解的缘故！
赞一下 回复此楼
你若安好便是晴天！
7楼2013-06-09 13:47:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
8楼2013-06-09 16:40:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-09 13:47:26
你用的是油扩散泵吧  有可能是扩散泵密封有问题，黑色物质EDS分析含氧，认为是油被分解的缘故！

谢谢啦   那其中的C呢?
赞一下 回复此楼
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
9楼2013-06-12 10:34:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by fuyadong01 at 2013-06-09 16:40:52
美女估计要修泵了。...

真的?你也认为泵有问题,我不理解的是C呢?
赞一下 回复此楼
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
10楼2013-06-12 10:35:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zsy1207333 的主题更新
211/3返回列表123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料085601调剂 +23 何润采123 2026-04-10 25/1250 2026-04-10 16:35 by 清风zh
[考研] 求调剂 +16 熊二想上岸 2026-04-04 16/800 2026-04-10 11:24 by may_新宇
[考研] 已调剂 +18 柴郡猫_ 2026-04-09 19/950 2026-04-09 22:10 by 柴郡猫_
[考研] 材料化工总分334求调剂 +16 Riot2025 2026-04-08 17/850 2026-04-09 20:19 by maddjdld
[考研] 一志愿085502，267分求调剂 +10 再忙也要吃饭啊 2026-04-08 11/550 2026-04-09 19:51 by gong120082
[考研] 材料调剂 +10 18815505510 2026-04-09 11/550 2026-04-09 17:07 by 544594351
[考研] 311求调剂 +6 surte 2026-04-08 13/650 2026-04-09 14:00 by surte
[考研] 材料工程322 +18 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 19/950 2026-04-09 10:44 by cymywx
[考研] 353求调剂 +8 晴空万里air 2026-04-07 8/400 2026-04-09 00:18 by GouQ
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级，数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 277求调剂 数一104分 +9 瓶子PZ 2026-04-05 14/700 2026-04-07 17:52 by 蓝云思雨
[考研] 22408 调剂材料 +7 我叫ez 2026-04-06 8/400 2026-04-07 17:12 by 蓝云思雨
[考研] 328求调剂 +4 ghhh88888 2026-04-06 5/250 2026-04-07 14:45 by ghhh88888
[考研] 0854求调剂 +9 亨氏番茄沙司 2026-04-06 10/500 2026-04-07 14:37 by shdgaomin
[考研] 机械专硕274求调剂，不挑专业学校 +6 泛泛2333 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:06 by 泛泛2333
[考研] 085405软件工程301分求调剂，专硕可跨专业，四六级已过 +3 静静想想 2026-04-05 3/150 2026-04-06 15:23 by nepu_uu
[考研] 08专硕275调剂 +5 AaAa7420 2026-04-05 5/250 2026-04-05 18:01 by jkddd
[考研] 321求调剂 +6 认真求上学 2026-04-03 6/300 2026-04-04 19:51 by dongzh2009
[考研] 359求调剂 +7 hhhhaaaa$ 2026-04-04 7/350 2026-04-04 18:49 by imissbao
[考研] 一志愿双非085502，267分，过四级求调剂 +3 再忙也要吃饭啊 2026-04-03 3/150 2026-04-04 05:03 by gswylq
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭