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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 氮化钛
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刚出疯人院

新虫 (初入文坛)

[求助] 氮化钛

本人用氮气、氢气和四氯化钛在高温下CVD沉积氮化钛涂层
进行了SEM、XRD表征
通过扫描电镜 观察到TiN晶体生长成五角星形状
本人晶体学方面知识较为匮乏，想请教：
1、五角星形状 的生长是由于有3个晶面么？
2、晶体的大小与什么有关？
不知表述正确否... 望大家见谅
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1楼 2012-07-05 23:07:08
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sanylt

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
linhua0402313: 金币+1, 感谢回帖交流，欢迎常来晶体板块 2012-07-06 07:31:46
五角星形状……比较少见啊……衬底是什么，CVD长的晶体形状和衬底关系比较大……
你先确定TiN晶型再说吧，TiN一般来说是NaCl型的吧，111方向长的话可能是六角的，你确定你见到的是五角不是六角？
五角的话难道是准晶？反正我没实际处理过……也不好乱说……
老实说，我看你还是先看看是不是缺陷什么的吧……
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2楼2012-07-06 05:00:32
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刚出疯人院

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sanylt at 2012-07-06 05:00:32
五角星形状……比较少见啊……衬底是什么，CVD长的晶体形状和衬底关系比较大……
你先确定TiN晶型再说吧，TiN一般来说是NaCl型的吧，111方向长的话可能是六角的，你确定你见到的是五角不是六角？
五角的话难道是准 ...

谢谢帮助！
衬底是 304不锈钢
主要是 有111、220晶面  200、311、222晶面都比较弱
而且 确实是五角的  这个是肯定的
另外我最近才接触晶体方面的知识，不知你说的 缺陷什么的 应该从哪几个方面分析
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3楼2012-07-06 12:34:08
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sanylt

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
刚出疯人院: 金币+10, ★★★很有帮助, 感谢提供思路.. 2012-07-07 23:07:11
lijunjie84: 金币+1, 感谢建议! 2012-07-31 13:35:50
引用回帖:
3楼: Originally posted by 刚出疯人院 at 2012-07-06 12:34:08
谢谢帮助！
衬底是 304不锈钢
主要是 有111、220晶面  200、311、222晶面都比较弱
而且 确实是五角的  这个是肯定的
另外我最近才接触晶体方面的知识，不知你说的 缺陷什么的 应该从哪几个方面分析...

五角形貌我没接触过，而且对你研究的TiN性质也没什么了解，也没有什么具体的思路……稍微说说我的想法吧……
你已经做过XRD了，结果显示是纯相么？有没有其他杂质？
有条件的话，做个SEAD吧，（这个衬底上薄膜的TEM的制样有点烦，麻烦的话就算了），看看有没有五次对称性，如果有的话，那就是准晶了，不过我觉得不太可能，准晶一般都是金属化合物的，氮化物材料好像没听说过……
如果排除了微观对称性造成的晶粒形貌的影响，那么只能从衬底和反应条件入手了，你看看别人同样方法做的形貌有什么不同，也没法提什么建设性的意见……只能建议你从这方面想了……
祝你好运
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4楼2012-07-06 21:29:32
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dingjun896

木虫 (正式写手)
我用不同的方法也合成出来了是五星的，也不知道是什么原因！楼主发现原因了没？
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5楼2012-07-31 10:13:33
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脚下的石丶

新虫 (初入文坛)
请问楼主TiCl4，控制的稳定吗？我也是CVD用Ti，感觉对流量计损耗好大，不容易控制

发自小木虫IOS客户端
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6楼2016-11-22 15:26:46
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