| 查看: 3166 | 回复: 20 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
zsy1207333铁杆木虫 (著名写手)
|
[求助]
磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与
|
||||
| 现在磁控溅射镀膜遇到一个问题，做氮化钛，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，软软的，曾经检测过含氧，但处理了可能的问题之后还是没有什么变化，真空貌似没问题，用检漏仪检过的，运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题，现在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指点一二，非常感谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 磁控溅射靶材资料大全 | Target and film | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
Cas 72-43-5需要30g，定制合成，能接单的留言
已经有8人回复
-
求助:我三月中下旬出站，青基依托单位怎么办？
已经有6人回复
-
北京211副教授，35岁，想重新出发，去国外做博后，怎么样？
已经有8人回复
-
磺酰氟产物，毕不了业了！
已经有5人回复
-
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有25人回复
-
2026年机械制造与材料应用国际会议 （ICMMMA 2026）
已经有3人回复
-
自荐读博
已经有3人回复
-
不自信的我
已经有5人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 氮化钛
已经有5人回复
- 磁控溅射
已经有5人回复
- 【求助】镀钛工艺
已经有9人回复
- 【求助】纳米氮化钛表面怎么才能均匀的镀上一层镍。
已经有3人回复
- 请问磁控溅射TiN 的附着力的主要影响因素有哪些？
已经有6人回复
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
12楼2013-06-12 11:17:05
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
14楼2013-06-15 23:05:31
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
16楼2013-06-16 20:45:52