应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
52/1返回列表
查看: 3225  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与

现在磁控溅射镀膜遇到一个问题，做氮化钛，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，软软的，曾经检测过含氧，但处理了可能的问题之后还是没有什么变化，真空貌似没问题，用检漏仪检过的，运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题，现在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指点一二，非常感谢！
回复此楼

» 猜你喜欢
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
1楼 2013-06-07 17:10:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-15 23:05:31
冷不冷和挥发不挥发没什么关系
有可能是扩散泵油分子跑到腔内了...

下来准备先查查磁流体,昨天发现那里出了点问题。先再次检漏再说。这个扩散泵功率大，之前气路漏气都不影响真空。
赞一下 回复此楼
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
15楼2013-06-16 08:19:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 21 个回答

love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 有帮助。 2013-06-08 08:08:31
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！
赞一下 回复此楼
你若安好便是晴天！
2楼2013-06-07 22:16:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-07 22:16:19
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！

黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)
赞一下 回复此楼
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
3楼2013-06-08 08:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-09 16:28:01
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-08 14:37:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 21 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +3 5lbyq5wrhb 2026-02-07 4/200 2026-02-08 08:47 by vs90ilomwc
[考博] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +3 5lbyq5wrhb 2026-02-07 4/200 2026-02-08 08:46 by vs90ilomwc
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +3 3rkserf6qr 2026-02-07 5/250 2026-02-08 08:32 by vs90ilomwc
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +3 3rkserf6qr 2026-02-07 4/200 2026-02-08 08:27 by vs90ilomwc
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +5 2h7du0nuhk 2026-02-07 6/300 2026-02-08 08:26 by vs90ilomwc
[考博] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +5 2h7du0nuhk 2026-02-07 6/300 2026-02-08 08:12 by vs90ilomwc
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 6/300 2026-02-08 08:07 by vs90ilomwc
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 7/350 2026-02-08 07:52 by vs90ilomwc
[找工作] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 7/350 2026-02-08 07:46 by vs90ilomwc
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 8/400 2026-02-08 07:32 by vs90ilomwc
[考博] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 8/400 2026-02-08 07:27 by vs90ilomwc
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 8/400 2026-02-08 07:26 by vs90ilomwc
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全 +4 2h7du0nuhk 2026-02-07 8/400 2026-02-08 07:07 by vs90ilomwc
[硕博家园] 博士延得我，科研能力直往上蹿 +8 偏振片 2026-02-02 8/400 2026-02-08 06:52 by liyeqik
[教师之家] 有院领导为了换新车，用横向课题经费买了俩车 +7 瞬息宇宙 2026-02-04 7/350 2026-02-07 21:47 by tfang
[基金申请] 同年申请2项不同项目，第1个项目里不写第2个项目的信息，可以吗 +4 hitsdu 2026-02-06 4/200 2026-02-07 13:07 by jurkat.1640
[基金申请] 有时候真觉得大城市人没有县城人甚至个体户幸福 +9 苏东坡二世 2026-02-04 10/500 2026-02-07 12:37 by 小毛球
[考博] 天津大学招2026.09的博士生，欢迎大家推荐交流（博导是本人） +4 a793625982 2026-02-05 5/250 2026-02-07 10:57 by a793625982
[公派出国] CSC & MSCA 博洛尼亚大学能源材料课题组博士/博士后招生｜MSCA经费充足、排名优 +4 雨念 2026-02-01 6/300 2026-02-06 23:32 by MelissaPon
[基金申请] 面上项目申报 +3 Tide man 2026-02-01 3/150 2026-02-05 22:56 by god_tian
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭