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zsy1207333铁杆木虫 (著名写手)
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[求助]
磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与
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| 现在磁控溅射镀膜遇到一个问题，做氮化钛，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，软软的，曾经检测过含氧，但处理了可能的问题之后还是没有什么变化，真空貌似没问题，用检漏仪检过的，运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题，现在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指点一二，非常感谢！ |
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zsy1207333
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13楼2013-06-15 20:10:51
love_youheng
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2楼2013-06-07 22:16:19
zsy1207333
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3楼2013-06-08 08:00:19
fuyadong01
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4楼2013-06-08 14:37:28
