24小时热门版块排行榜    

查看: 3325  |  回复: 20
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与

现在磁控溅射镀膜遇到一个问题,做氮化钛,做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末,软软的,曾经检测过含氧,但处理了可能的问题之后还是没有什么变化,真空貌似没问题,用检漏仪检过的,运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题,现在不知道怎么回事,不知哪位大神可以指点一二,非常感谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by wbcui at 2013-06-12 11:17:05
用扩散泵做磁控溅射?
估计是扩散泵油挥发到腔体内,被碳化了吧?

有用扩散泵做磁控溅射的?
我第一次听说,我一直用分子泵的。...

谁知道   他们选的泵  我以前见也是用分子泵 我摸了摸 泵上半部分是凉的  不热啊  只是下面貌似热的连标签纸都要掉了,泵外面颜色都有点发灰了  失去金属光泽了 像是被污染
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
13楼2013-06-15 20:10:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 21 个回答

love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 有帮助。 2013-06-08 08:08:31
我也做的是磁控溅射镀膜!觉得应该是电流没调好吧 !所以整个腔体内都被镀膜了!
你若安好便是晴天!
2楼2013-06-07 22:16:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-07 22:16:19
我也做的是磁控溅射镀膜!觉得应该是电流没调好吧 !所以整个腔体内都被镀膜了!

黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)
一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
3楼2013-06-08 08:00:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-09 16:28:01
本帖内容被屏蔽

4楼2013-06-08 14:37:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 279分求调剂 一志愿211 +13 chaojifeixia 2026-03-19 14/700 2026-03-21 10:28 by JineShine
[考研] 306求调剂 +4 chuanzhu川烛 2026-03-18 4/200 2026-03-21 08:25 by laoshidan
[考研] 316求调剂 +6 梁茜雯 2026-03-19 6/300 2026-03-21 06:32 by Ecowxq666!
[考研] 265求调剂 +3 Jack?k?y 2026-03-17 3/150 2026-03-21 03:17 by JourneyLucky
[考研] 材料工程(专)一志愿985 初试335求调剂 +3 hiloiy 2026-03-17 4/200 2026-03-21 03:04 by JourneyLucky
[考研] 278求调剂 +6 烟火先于春 2026-03-17 6/300 2026-03-21 01:57 by JourneyLucky
[考研] 一志愿武理材料305分求调剂 +6 想上岸的鲤鱼 2026-03-18 7/350 2026-03-21 01:03 by JourneyLucky
[考研] 22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术 +4 solanXXX 2026-03-20 4/200 2026-03-20 23:49 by alg094825
[考研] 一志愿南昌大学,327分,材料与化工085600 +9 Ncdx123456 2026-03-19 9/450 2026-03-20 23:41 by lovewei0727
[考研] 321求调剂 +9 何润采123 2026-03-18 11/550 2026-03-20 23:19 by JourneyLucky
[考研] 287求调剂 +7 晨昏线与星海 2026-03-19 8/400 2026-03-20 22:19 by JourneyLucky
[考研] 290求调剂 +7 ^O^乜 2026-03-19 7/350 2026-03-20 21:43 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中农业071010,总分320求调剂 +3 困困困困坤坤 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:38 by 学员8dgXkO
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 3/150 2026-03-20 11:58 by 呱呱呱呱叫
[考研] 求调剂 +3 暗涌afhb 2026-03-16 3/150 2026-03-20 00:28 by 河南大学校友
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 一志愿,福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
信息提示
请填处理意见