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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与

现在磁控溅射镀膜遇到一个问题，做氮化钛，做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末，软软的，曾经检测过含氧，但处理了可能的问题之后还是没有什么变化，真空貌似没问题，用检漏仪检过的，运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题，现在不知道怎么回事，不知哪位大神可以指点一二，非常感谢！
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
1楼 2013-06-07 17:10:42
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-09 13:47:26
你用的是油扩散泵吧  有可能是扩散泵密封有问题，黑色物质EDS分析含氧，认为是油被分解的缘故！

谢谢啦   那其中的C呢?
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
9楼2013-06-12 10:34:29
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love_youheng

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 有帮助。 2013-06-08 08:08:31
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！
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你若安好便是晴天！
2楼2013-06-07 22:16:19
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zsy1207333

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by love_youheng at 2013-06-07 22:16:19
我也做的是磁控溅射镀膜！觉得应该是电流没调好吧 ！所以整个腔体内都被镀膜了！

黑色物质是不想要的,里面有氧(eds分析)
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一个男人的梦想应该是承担起更大的责任
3楼2013-06-08 08:00:19
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+2, 有帮助。 2013-06-09 16:28:01
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-08 14:37:28
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