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zsy1207333铁杆木虫 (著名写手)
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磁控溅射镀膜 TiN氮化钛 已有1人参与
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| 现在磁控溅射镀膜遇到一个问题,做氮化钛,做完之后靶材和腔室里有灰黑色粉末,软软的,曾经检测过含氧,但处理了可能的问题之后还是没有什么变化,真空貌似没问题,用检漏仪检过的,运行过程真空也保持得很好。气路等都没问题,现在不知道怎么回事,不知哪位大神可以指点一二,非常感谢! |
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zxy19871129
铁虫 (初入文坛)
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19楼2014-08-25 22:38:47
love_youheng
木虫 (正式写手)
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2楼2013-06-07 22:16:19
zsy1207333
铁杆木虫 (著名写手)
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- 性别: GG
- 专业: 金属材料的力学行为

3楼2013-06-08 08:00:19
fuyadong01
禁虫 (小有名气)
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4楼2013-06-08 14:37:28










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