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云海笑漾

新虫 (初入文坛)


[交流] 急急急!!磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊?

各位大神
磁控溅射在硬质合金表面镀膜 试样是长方形片 为什么试样中间能镀上膜 但是边界上镀不上去膜?
这跟哪个参数有关呢    有经验的大家交流一下  谢谢喽\(^o^)/~
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道实际设备情况,镀的什么膜,镀不上是,没膜还是膜薄,还是掉膜,还是颜色不一致,只能猜测可能原因:1、合金表面需要清洗,烘干;2、不知道你实际情况真不好判断。
9楼2014-03-13 10:19:25
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查看全部 10 个回答

wu2140

银虫 (初入文坛)



云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
试一试减小靶基距,增大溅射气压。

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-03-06 00:01:27
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maya5428

铜虫 (小有名气)



云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu2140 at 2014-03-06 00:01:27
试一试减小靶基距,增大溅射气压。

减小距离 那所渡膜的面积会更小吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
5楼2014-03-07 15:54:41
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wu2140

银虫 (初入文坛)


引用回帖:
5楼: Originally posted by maya5428 at 2014-03-07 15:54:41
减小距离 那所渡膜的面积会更小吧
...

减小靶基距是为了提高均匀性,如果衬底面积不是太大的话。

[ 发自小木虫客户端 ]
6楼2014-03-07 22:00:39
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简单回复
2014-03-12 21:23   回复  
引用回帖:
6楼: Originally posted by wu2140 at 2014-03-07 22:00:39 减小靶基距是为了提高均匀性,如果衬底面积不是太大的话。 ...

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