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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 急急急！！磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊？
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云海笑漾

新虫 (初入文坛)

[交流] 急急急！！磁控溅射镀膜 试样边上镀不上膜 这跟什么有关系啊？

各位大神
磁控溅射在硬质合金表面镀膜 试样是长方形片 为什么试样中间能镀上膜 但是边界上镀不上去膜？
这跟哪个参数有关呢    有经验的大家交流一下  谢谢喽\(^o^)/~
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1楼2014-03-05 23:40:16
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wu2140

银虫 (初入文坛)
★
云海笑漾(金币+1): 谢谢参与
试一试减小靶基距，增大溅射气压。

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2楼2014-03-06 00:01:27
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wu2140

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by maya5428 at 2014-03-07 15:54:41
减小距离 那所渡膜的面积会更小吧
...

减小靶基距是为了提高均匀性，如果衬底面积不是太大的话。

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6楼2014-03-07 22:00:39
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