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liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] 讨论磁控溅射靶变黑的原因 已有5人参与

各位大侠专家们,想总结下导致磁控溅射靶发黑的原因有哪些?
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坏老老头

木虫 (小有名气)

反应溅射?
2楼2014-06-13 14:46:36
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)

同问~

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-06-14 07:46:34
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liaofang20

银虫 (小有名气)

非反应溅射,溅射纯金属。
4楼2014-06-14 15:19:31
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我认为是因为形成化合物的原因,以氧化铟为例陶瓷靶为黄色,经过溅射变为黑色,是形成lnO的原因

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
hopeisagoodthing........
5楼2014-06-15 16:22:16
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yanglei839 at 2014-06-15 16:22:16
我认为是因为形成化合物的原因,以氧化铟为例陶瓷靶为黄色,经过溅射变为黑色,是形成lnO的原因

不是反应溅射哦,比如溅射金属铝,铬等。
6楼2014-06-16 15:12:21
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clearsky7228

金虫 (正式写手)

翻译联盟


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没抽完真空,有氧化,有时候蒸金出来的都是黑点
熟悉科技英语,不懂文学的。Q330949904
7楼2014-06-16 15:34:38
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Smallpeng

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我觉得不一定是反应溅射,溅射纯金属时,腔体漏气或者气体不纯,有杂质气体与靶材表面反应,也会靶中毒发黑。
勇敢自信踏实,科研其实和生活是一样一样的
8楼2014-07-09 11:05:06
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