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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 讨论磁控溅射靶变黑的原因
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[交流] 讨论磁控溅射靶变黑的原因 已有5人参与

各位大侠专家们，想总结下导致磁控溅射靶发黑的原因有哪些？
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1楼 2014-06-13 11:39:15
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我觉得不一定是反应溅射，溅射纯金属时，腔体漏气或者气体不纯，有杂质气体与靶材表面反应，也会靶中毒发黑。
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
8楼2014-07-09 11:05:06
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wangxdsxs

金虫 (正式写手)
同问～

[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-06-14 07:46:34
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liaofang20

银虫 (小有名气)
非反应溅射，溅射纯金属。
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4楼2014-06-14 15:19:31
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我认为是因为形成化合物的原因，以氧化铟为例陶瓷靶为黄色，经过溅射变为黑色，是形成lnO的原因

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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hopeisagoodthing........
5楼2014-06-15 16:22:16
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