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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射在衬底上制备薄膜时会不会对衬底造成损伤？损伤层多厚？如何检测？如何避免？
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小木虫8887

银虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射在衬底上制备薄膜时会不会对衬底造成损伤？损伤层多厚？如何检测？如何避免？ 已有2人参与

如题，有知道的砖家请赐教啊，谢谢
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没有路自己去走一条，没有鞋自己编一只
1楼 2014-05-17 19:49:27
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★
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小木虫8887: 金币+3, 谢谢 2014-05-19 20:57:56
应该不会吧，溅射出来的靶材原子或原子团在到达衬底时能量已经很小了，不足以损伤衬底
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2楼2014-05-18 11:52:01
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azuoin

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
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小木虫8887: 金币+1 2014-05-19 20:58:02
小木虫8887: 金币+1 2014-05-19 20:58:30
本帖内容被屏蔽
3楼2014-05-18 12:43:21
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
★ ★ ★ ★
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小木虫8887: 金币+3 2014-05-19 20:58:11
听过报告，印象里是没有影响。而且一般是在硅片，玻璃，蓝宝石等等衬底上做，一般不会有什么影响。
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15501697107
4楼2014-05-18 15:36:20
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ledlau

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫8887: 金币+2 2014-05-19 20:58:23
应该不会
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辛勤耕耘，收获知识，收获美好人生
5楼2014-05-19 10:55:01
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victorochea

木虫 (正式写手)
★
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没有影响，轰击的是靶材 又不是样品
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6楼2014-05-21 00:25:55
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csuhwj

银虫 (小有名气)
★
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如果想避免可用蒸镀啊，一般溅射和蒸镀仪器一起的
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7楼2014-05-21 09:44:19
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