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小木虫8887

银虫 (正式写手)

[交流] 磁控溅射在衬底上制备薄膜时会不会对衬底造成损伤?损伤层多厚?如何检测?如何避免? 已有2人参与

如题,有知道的砖家请赐教啊,谢谢
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没有路自己去走一条,没有鞋自己编一只
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★ ★ ★
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小木虫8887: 金币+3, 谢谢 2014-05-19 20:57:56
应该不会吧,溅射出来的靶材原子或原子团在到达衬底时能量已经很小了,不足以损伤衬底
2楼2014-05-18 11:52:01
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azuoin

铜虫 (初入文坛)

★ ★ ★
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小木虫8887: 金币+1 2014-05-19 20:58:02
小木虫8887: 金币+1 2014-05-19 20:58:30
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3楼2014-05-18 12:43:21
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

★ ★ ★ ★
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小木虫8887: 金币+3 2014-05-19 20:58:11
听过报告,印象里是没有影响。而且一般是在硅片,玻璃,蓝宝石等等衬底上做,一般不会有什么影响。
15501697107
4楼2014-05-18 15:36:20
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ledlau

木虫 (著名写手)

★ ★
小木虫8887: 金币+2 2014-05-19 20:58:23
应该不会
辛勤耕耘,收获知识,收获美好人生
5楼2014-05-19 10:55:01
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victorochea

木虫 (正式写手)


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没有影响,轰击的是靶材 又不是样品
6楼2014-05-21 00:25:55
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csuhwj

银虫 (小有名气)


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如果想避免可用蒸镀啊,一般溅射和蒸镀仪器一起的
7楼2014-05-21 09:44:19
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