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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 除了玻璃、硅片。磁控溅射法对基材、衬底是什么要求？
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helanvv

金虫 (小有名气)

积极向上

[求助] 除了玻璃、硅片。磁控溅射法对基材、衬底是什么要求？

除了玻璃、硅片。磁控溅射法对基材、衬底是什么要求？实验中大多采用玻璃。但具体应用中可以采用哪些基片？？谢谢谢谢
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加油
1楼 2011-12-17 22:39:16
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feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
helanvv(金币+2): 谢谢 2011-12-18 13:12:17
看你长什么膜了，一般来说只要是单晶片都可以，比如常用的quartz，sapphire。
但最好的材料是要看衬底与生长的薄膜的晶格失配，越小的越好
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roc
2楼2011-12-18 05:15:18
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helanvv

金虫 (小有名气)

积极向上
引用回帖:
楼: Originally posted by feiepeng at 2011-12-18 05:15:18:
看你长什么膜了，一般来说只要是单晶片都可以，比如常用的quartz，sapphire。
但最好的材料是要看衬底与生长的薄膜的晶格失配，越小的越好

谢谢，但是如果是用于表面改性的，比如纤维，纺织品，或其他，是想往什么材料上镀膜就能镀的吗？刚接触这个仪器，什么都不懂。谢谢
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加油
3楼2011-12-18 09:47:44
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feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

helanvv(金币+2): 2 2011-12-18 13:15:34
没做过这个方面，理论上是可以的，但是纤维，纺织品是不能耐高温的，也就是说要在室温下生长，可能比较难
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roc
4楼2011-12-18 11:14:57
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