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helanvv

金虫 (小有名气)

积极向上

[求助] 除了玻璃、硅片。磁控溅射法对基材、衬底是什么要求?

除了玻璃、硅片。磁控溅射法对基材、衬底是什么要求?实验中大多采用玻璃。但具体应用中可以采用哪些基片??谢谢谢谢
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feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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helanvv(金币+2): 谢谢 2011-12-18 13:12:17
看你长什么膜了,一般来说只要是单晶片都可以,比如常用的quartz,sapphire。
但最好的材料是要看衬底与生长的薄膜的晶格失配,越小的越好
roc
2楼2011-12-18 05:15:18
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helanvv

金虫 (小有名气)

积极向上

引用回帖:
: Originally posted by feiepeng at 2011-12-18 05:15:18:
看你长什么膜了,一般来说只要是单晶片都可以,比如常用的quartz,sapphire。
但最好的材料是要看衬底与生长的薄膜的晶格失配,越小的越好

谢谢,但是如果是用于表面改性的,比如纤维,纺织品,或其他,是想往什么材料上镀膜就能镀的吗?刚接触这个仪器,什么都不懂。谢谢
加油
3楼2011-12-18 09:47:44
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feiepeng

金虫 (小有名气)

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helanvv(金币+2): 2 2011-12-18 13:15:34
没做过这个方面,理论上是可以的,但是纤维,纺织品是不能耐高温的,也就是说要在室温下生长,可能比较难
roc
4楼2011-12-18 11:14:57
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