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讨论磁控溅射靶变黑的原因
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liaofang20
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专业: 金属材料表面科学与工程
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讨论磁控溅射靶变黑的原因
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各位大侠专家们,想总结下导致磁控溅射靶发黑的原因有哪些?
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2014-06-13 11:39:15
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clearsky7228
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注册: 2008-09-13
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专业: 无机非金属类光电信息与功
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没抽完真空,有氧化,有时候蒸金出来的都是黑点
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熟悉科技英语,不懂文学的。Q330949904
7楼
2014-06-16 15:34:38
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