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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 其他交流 » 磁控溅射电源问题
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conquertju

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射电源问题 已有2人参与

直流磁控溅射镀钛，之前一直没问题，别人换靶材用之后也没问题，可是再换回钛靶材之后，电源就出问题了，即使电压加的很大，电流也非常小而且几乎不变，辉光非常弱，有木有人知道问题可能出在哪？
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1楼 2013-06-24 13:56:02
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772954170

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

真空腔里还没起辉吧？把Ar调高一点先起辉。
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9楼2013-12-26 23:42:22
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