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直流磁控溅射电源问题
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SKY ZL-I直流溅射电源为什么功率要调节好几圈才有电流、电压输出。 我用80mA溅射，为什么过了一段时间输出的电流会不稳定会调到100mA。 调节功率到某一电流值了以后是直接进入了异常放电区吗，为什么有时候我调节了一下功率旋钮电流还是没多大改变？ |
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