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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 直流磁控溅射电源问题
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amos11

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射电源问题

SKY ZL-I直流溅射电源为什么功率要调节好几圈才有电流、电压输出。
我用80mA溅射，为什么过了一段时间输出的电流会不稳定会调到100mA。
调节功率到某一电流值了以后是直接进入了异常放电区吗，为什么有时候我调节了一下功率旋钮电流还是没多大改变？
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1楼 2013-11-01 22:23:50
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amos11

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-01 23:29:00
SKY ZL-I这个是国内产的电源么？

我看你靶材中心发黑，周围一圈也有发黑的地方，靶托也有氧化的痕迹，看靶材颜色应该是金属靶吧，是背底真空不高么？感觉氧化的比较厉害。

我一般调功率，直流的时候电流随功 ...

金属靶，放进去之前砂纸打磨过，有脏东西可能就氧化了。
这个是国产电源。我是调了几圈功率，电流就突然跳到120mA，电压不变，然后我再调小电流。

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4楼2013-11-02 09:41:13
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amos11

新虫 (初入文坛)
做完以后靶这样子对吗？
做之前打磨过很亮，刚刚起辉有火花，之后就好了直流磁控溅射电源问题
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2楼2013-11-01 23:19:21
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by amos11 at 2013-11-02 00:19:21
做完以后靶这样子对吗？
做之前打磨过很亮，刚刚起辉有火花，之后就好了

SKY ZL-I这个是国内产的电源么？

我看你靶材中心发黑，周围一圈也有发黑的地方，靶托也有氧化的痕迹，看靶材颜色应该是金属靶吧，是背底真空不高么？感觉氧化的比较厉害。

我一般调功率，直流的时候电流随功率线性变，电压基本不变。不知道为啥你的是电流不变，电压变
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3楼2013-11-01 23:29:00
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amos11

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by amos11 at 2013-11-01 23:19:21
做完以后靶这样子对吗？
做之前打磨过很亮，刚刚起辉有火花，之后就好了

真空有8*10-4

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2013-11-02 09:42:35
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