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amos11

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射电源问题

SKY ZL-I直流溅射电源为什么功率要调节好几圈才有电流、电压输出。
我用80mA溅射,为什么过了一段时间输出的电流会不稳定会调到100mA。
调节功率到某一电流值了以后是直接进入了异常放电区吗,为什么有时候我调节了一下功率旋钮电流还是没多大改变?
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amos11

新虫 (初入文坛)

做完以后靶这样子对吗?
做之前打磨过很亮,刚刚起辉有火花,之后就好了直流磁控溅射电源问题
2楼2013-11-01 23:19:21
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
2楼: Originally posted by amos11 at 2013-11-02 00:19:21
做完以后靶这样子对吗?
做之前打磨过很亮,刚刚起辉有火花,之后就好了

SKY ZL-I这个是国内产的电源么?

我看你靶材中心发黑,周围一圈也有发黑的地方,靶托也有氧化的痕迹,看靶材颜色应该是金属靶吧,是背底真空不高么?感觉氧化的比较厉害。

我一般调功率,直流的时候电流随功率线性变,电压基本不变。不知道为啥你的是电流不变,电压变
3楼2013-11-01 23:29:00
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amos11

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wbcui at 2013-11-01 23:29:00
SKY ZL-I这个是国内产的电源么?

我看你靶材中心发黑,周围一圈也有发黑的地方,靶托也有氧化的痕迹,看靶材颜色应该是金属靶吧,是背底真空不高么?感觉氧化的比较厉害。

我一般调功率,直流的时候电流随功 ...

金属靶,放进去之前砂纸打磨过,有脏东西可能就氧化了。
这个是国产电源。我是调了几圈功率,电流就突然跳到120mA,电压不变,然后我再调小电流。

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2013-11-02 09:41:13
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amos11

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by amos11 at 2013-11-01 23:19:21
做完以后靶这样子对吗?
做之前打磨过很亮,刚刚起辉有火花,之后就好了

真空有8*10-4

[ 发自小木虫客户端 ]
5楼2013-11-02 09:42:35
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