应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助磁控溅射成膜的问题
131/1返回列表
查看: 2661  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ydar123

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 求助磁控溅射成膜的问题

大家好，我是利用磁控溅射沉积薄膜材料，当我在托盘上放上一块衬底的时候成膜就比较好，可是当我将两块衬底同时放在托盘时，沉积过程中两块衬底上的薄膜在沉积的过程中容易碎裂。请各位大侠指点迷津！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

真空镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-08-30 13:22:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

WeightLoser

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
放置一块衬底的时候，衬底位于中心，整个衬底的受热比较均匀；放置两个衬底的时候，衬底边缘具中心较远，受热不均匀。再者，你的膜层材料跟你的衬底材料的热膨胀系数差别较大，容易造成薄膜脱落和崩裂~
赞一下(1人) 回复此楼
11楼2013-09-10 17:00:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

1029511774

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-08-30 16:31:21
ydar123: 金币+1 2013-08-30 18:07:14
你这是做了一次实验，还是试了很多次？一般来说不会出现这样的情况
赞一下 回复此楼
2楼2013-08-30 14:19:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1029511774 at 2013-08-30 14:19:46
你这是做了一次实验，还是试了很多次？一般来说不会出现这样的情况

做了三四次吧！
回复此楼
3楼2013-08-30 18:07:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sgdaiwen

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1 2013-08-31 12:30:26
可能是你压的太紧了，加热的时候热应力不均匀，导致碎裂，你可以用高温胶粘贴试一试，看看会不会出现这种情况了
赞一下 回复此楼
5楼2013-08-31 10:22:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by sgdaiwen at 2013-08-31 10:22:46
可能是你压的太紧了，加热的时候热应力不均匀，导致碎裂，你可以用高温胶粘贴试一试，看看会不会出现这种情况了

我放两块和放一块的时候压的力量是一致的！
赞一下 回复此楼
6楼2013-08-31 12:31:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanghun715

铁虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1 2013-08-31 16:36:39
可能是你的实验操作有误，应该不会出现这样的文题
赞一下 回复此楼
7楼2013-08-31 15:41:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by huanghun715 at 2013-08-31 15:41:49
可能是你的实验操作有误，应该不会出现这样的文题

是么。可是我的操作过程都一样啊啊，没有什么不同！
赞一下 回复此楼
8楼2013-08-31 16:37:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
衬底不同材料吧？衬底厚度不一样的话，卡子压衬底的方式呢，确定是一只脚只压一个？
赞一下 回复此楼
9楼2013-09-01 16:10:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huanghun715

铁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
继续多做几次 看看是不是实验操作的问题
赞一下 回复此楼
10楼2013-09-02 09:02:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ggtech

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:00:00
放置一块衬底的时候，衬底位于中心，整个衬底的受热比较均匀；放置两个衬底的时候，衬底边缘具中心较远，受热不均匀。再者，你的膜层材料跟你的衬底材料的热膨胀系数差别较大，容易造成薄膜脱落和崩裂~

觉得是这个理。
回复此楼
12楼2013-10-10 08:47:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没明白楼主的意思啊
赞一下 回复此楼
13楼2013-10-10 12:27:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
yingying15884楼
2013-08-30 19:02   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 ydar123 的主题更新
131/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 什么时候开奖？ +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +5 炎黄贵胄 2026-08-22 6/300 2026-08-24 06:34 by sincosx
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +11 kulium 2026-08-21 14/700 2026-08-24 02:12 by 流流伤
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 今天放榜吗？ +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +7 且听虎啸 2026-08-17 8/400 2026-08-22 21:55 by 医学老男孩
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭