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汕头大学海洋科学接受调剂
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)


[交流] 求助磁控溅射成膜的问题

大家好,我是利用磁控溅射沉积薄膜材料,当我在托盘上放上一块衬底的时候成膜就比较好,可是当我将两块衬底同时放在托盘时,沉积过程中两块衬底上的薄膜在沉积的过程中容易碎裂。请各位大侠指点迷津!
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bryano

木虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
衬底不同材料吧?衬底厚度不一样的话,卡子压衬底的方式呢,确定是一只脚只压一个?
9楼2013-09-01 16:10:20
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1029511774

铜虫 (小有名气)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-08-30 16:31:21
ydar123: 金币+1 2013-08-30 18:07:14
你这是做了一次实验,还是试了很多次?一般来说不会出现这样的情况
2楼2013-08-30 14:19:46
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 1029511774 at 2013-08-30 14:19:46
你这是做了一次实验,还是试了很多次?一般来说不会出现这样的情况

做了三四次吧!
3楼2013-08-30 18:07:32
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
ydar123: 金币+1 2013-08-31 12:30:26
可能是你压的太紧了,加热的时候热应力不均匀,导致碎裂,你可以用高温胶粘贴试一试,看看会不会出现这种情况了
5楼2013-08-31 10:22:46
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