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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助磁控溅射成膜的问题
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 求助磁控溅射成膜的问题

大家好，我是利用磁控溅射沉积薄膜材料，当我在托盘上放上一块衬底的时候成膜就比较好，可是当我将两块衬底同时放在托盘时，沉积过程中两块衬底上的薄膜在沉积的过程中容易碎裂。请各位大侠指点迷津！
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1楼 2013-08-30 13:22:14
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

WeightLoser

新虫 (初入文坛)
★
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放置一块衬底的时候，衬底位于中心，整个衬底的受热比较均匀；放置两个衬底的时候，衬底边缘具中心较远，受热不均匀。再者，你的膜层材料跟你的衬底材料的热膨胀系数差别较大，容易造成薄膜脱落和崩裂~
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11楼2013-09-10 17:00:00
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普通回帖

1029511774

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-08-30 16:31:21
ydar123: 金币+1 2013-08-30 18:07:14
你这是做了一次实验，还是试了很多次？一般来说不会出现这样的情况
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2楼2013-08-30 14:19:46
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1029511774 at 2013-08-30 14:19:46
你这是做了一次实验，还是试了很多次？一般来说不会出现这样的情况

做了三四次吧！
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3楼2013-08-30 18:07:32
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1 2013-08-31 12:30:26
可能是你压的太紧了，加热的时候热应力不均匀，导致碎裂，你可以用高温胶粘贴试一试，看看会不会出现这种情况了
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5楼2013-08-31 10:22:46
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
5楼: Originally posted by sgdaiwen at 2013-08-31 10:22:46
可能是你压的太紧了，加热的时候热应力不均匀，导致碎裂，你可以用高温胶粘贴试一试，看看会不会出现这种情况了

我放两块和放一块的时候压的力量是一致的！
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6楼2013-08-31 12:31:08
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huanghun715

铁虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1 2013-08-31 16:36:39
可能是你的实验操作有误，应该不会出现这样的文题
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7楼2013-08-31 15:41:49
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by huanghun715 at 2013-08-31 15:41:49
可能是你的实验操作有误，应该不会出现这样的文题

是么。可是我的操作过程都一样啊啊，没有什么不同！
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8楼2013-08-31 16:37:32
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bryano

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
衬底不同材料吧？衬底厚度不一样的话，卡子压衬底的方式呢，确定是一只脚只压一个？
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9楼2013-09-01 16:10:20
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huanghun715

铁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
继续多做几次 看看是不是实验操作的问题
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10楼2013-09-02 09:02:23
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ggtech

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:00:00
放置一块衬底的时候，衬底位于中心，整个衬底的受热比较均匀；放置两个衬底的时候，衬底边缘具中心较远，受热不均匀。再者，你的膜层材料跟你的衬底材料的热膨胀系数差别较大，容易造成薄膜脱落和崩裂~

觉得是这个理。
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12楼2013-10-10 08:47:40
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没明白楼主的意思啊
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13楼2013-10-10 12:27:58
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yingying15884楼
2013-08-30 19:02   回复  
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