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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求助磁控溅射成膜的问题
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

[交流] 求助磁控溅射成膜的问题

大家好，我是利用磁控溅射沉积薄膜材料，当我在托盘上放上一块衬底的时候成膜就比较好，可是当我将两块衬底同时放在托盘时，沉积过程中两块衬底上的薄膜在沉积的过程中容易碎裂。请各位大侠指点迷津！
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1楼 2013-08-30 13:22:14
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ggtech

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:00:00
放置一块衬底的时候，衬底位于中心，整个衬底的受热比较均匀；放置两个衬底的时候，衬底边缘具中心较远，受热不均匀。再者，你的膜层材料跟你的衬底材料的热膨胀系数差别较大，容易造成薄膜脱落和崩裂~

觉得是这个理。
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12楼2013-10-10 08:47:40
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1029511774

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-08-30 16:31:21
ydar123: 金币+1 2013-08-30 18:07:14
你这是做了一次实验，还是试了很多次？一般来说不会出现这样的情况
赞一下 回复此楼
2楼2013-08-30 14:19:46
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ydar123

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1029511774 at 2013-08-30 14:19:46
你这是做了一次实验，还是试了很多次？一般来说不会出现这样的情况

做了三四次吧！
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3楼2013-08-30 18:07:32
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sgdaiwen

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ydar123: 金币+1 2013-08-31 12:30:26
可能是你压的太紧了，加热的时候热应力不均匀，导致碎裂，你可以用高温胶粘贴试一试，看看会不会出现这种情况了
赞一下 回复此楼
5楼2013-08-31 10:22:46
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