24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (2495)
>虫友互识 (396)
>导师招生 (93)
>基金申请 (58)
>论文道贺祈福 (56)
>硕博家园 (35)
>休闲灌水 (29)
>文献求助 (28)
>考博 (24)
>博后之家 (23)
>仿真模拟 (23)
>找工作 (18)
>考研 (18)
>论文投稿 (18)
>公派出国 (16)
>教师之家 (14)

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ydar123

至尊木虫 (职业作家)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 21082.4
帖子: 3889
在线: 292小时
虫号: 477336

[交流] 求助磁控溅射成膜的问题

大家好，我是利用磁控溅射沉积薄膜材料，当我在托盘上放上一块衬底的时候成膜就比较好，可是当我将两块衬底同时放在托盘时，沉积过程中两块衬底上的薄膜在沉积的过程中容易碎裂。请各位大侠指点迷津！

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

真空镀膜类技术资料

» 猜你喜欢

售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急已经有3人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急已经有4人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急已经有4人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急已经有3人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急已经有5人回复
药化及相关博士的申请已经有3人回复
一篇MDPI论文改变了学习工作和生活已经有4人回复
一个化合物的合成路线：CAS:367929-02-0 名称：8β-乙烯基雌二醇已经有4人回复
太白金星有点烦已经有3人回复
中国地质大学（北京）博士招生补录，数理学院材料科学与工程专业和材料与化工专业已经有3人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

磁控溅射电源问题已经有11人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？已经有13人回复
磁控溅射镀不上去膜！！已经有14人回复
新手求助各位大师关于磁控溅射NiMn靶的问题已经有5人回复
[求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上已经有11人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒已经有10人回复
【学术交流】磁控溅射——应用领域交流已经有16人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题已经有10人回复
请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！已经有20人回复
求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急已经有10人回复
求助：反应磁控溅射制备氮化铬薄膜，靶电源用DC还是RF好呢？已经有9人回复
磁控溅射做薄膜失败了吗已经有21人回复
求助关于磁控溅射的问题已经有29人回复
我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？已经有9人回复
【求助】关于射频磁控溅射镀膜问题已经有5人回复
【求助】请教磁控溅射金属膜问题已经有23人回复
【求助】关于磁控溅射SiO2的问题已经有14人回复
【交流】磁控溅射合金时，Film的成分已经有6人回复
【求助】求助：磁控溅射问题已经有20人回复
【求助】磁控溅射靶材与衬底的距离已经有20人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2013-08-30 13:22:14

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

ggtech

铁虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1576.9
帖子: 171
在线: 90.2小时
虫号: 2118722

引用回帖:

11楼: Originally posted by WeightLoser at 2013-09-10 17:00:00
放置一块衬底的时候，衬底位于中心，整个衬底的受热比较均匀；放置两个衬底的时候，衬底边缘具中心较远，受热不均匀。再者，你的膜层材料跟你的衬底材料的热膨胀系数差别较大，容易造成薄膜脱落和崩裂~

觉得是这个理。

回复此楼