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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

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[交流] 求助磁控溅射成膜的问题

大家好，我是利用磁控溅射沉积薄膜材料，当我在托盘上放上一块衬底的时候成膜就比较好，可是当我将两块衬底同时放在托盘时，沉积过程中两块衬底上的薄膜在沉积的过程中容易碎裂。请各位大侠指点迷津！

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1楼2013-08-30 13:22:14

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huanghun715

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ydar123

至尊木虫 (职业作家)

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sgdaiwen

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ydar123: 金币+1 2013-08-31 12:30:26

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huanghun715

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