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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 磁控溅射设备出现问题
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量子世界o

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备出现问题 已有4人参与

最近我们实验室磁控溅射仪出现问题：机械泵和分子泵可以抽到理想的真空度，但是溅射几分钟之后，真空度突然升高，无法工作。各路大神给予指点呀！这是什么原因呀
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拥抱理想
1楼 2014-10-31 20:29:31
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Friend007

银虫 (知名作家)
1.靶材不纯。2.真空室污染严重。3.充气系统异常。

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2014-10-31 22:31:08
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cord

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不溅射之后是否真空又正常？
用的是什么气体溅射，纯度？靶材是什么？
你的信息太少了。
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3楼2014-10-31 23:25:27
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hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果真空度升高的不多，可能和靶材有关，换个靶材试试，如果真空度升的比较多，可能是气路阀门或接口漏了，希望对你有帮助
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4楼2014-11-01 09:18:39
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量子世界o

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-10-31 22:31:08
1.靶材不纯。2.真空室污染严重。3.充气系统异常。

谢谢你的回答，可是一般真空是污染严重，要抽到理想的真空度是不可能的，至于靶材，我们实验室以前就是使用的同种靶材没有出现过这样的问题！
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拥抱理想
5楼2014-11-01 10:05:06
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tang2014

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1.你气瓶给的压强是多少，有的时候减压阀给出的压强高于3个大气压，会让冲破流量计的控制。2.不溅射只是通气看看是否是外加气路或者流量计的问题3。会不会你把闸板阀关了
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6楼2014-11-03 16:09:48
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wangshaobin

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

这种情况一般是漏气，靶座、转架、靶漏、进气管有漏点等。规管还个新的试试。
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7楼2014-11-10 14:23:50
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