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汕头大学海洋科学接受调剂
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量子世界o

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射设备出现问题 已有4人参与

最近我们实验室磁控溅射仪出现问题:机械泵和分子泵可以抽到理想的真空度,但是溅射几分钟之后,真空度突然升高,无法工作。各路大神给予指点呀!这是什么原因呀
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拥抱理想
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hnyhg

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
如果真空度升高的不多,可能和靶材有关,换个靶材试试,如果真空度升的比较多,可能是气路阀门或接口漏了,希望对你有帮助
4楼2014-11-01 09:18:39
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Friend007

银虫 (知名作家)


1.靶材不纯。2.真空室污染严重。3.充气系统异常。

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-10-31 22:31:08
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不溅射之后是否真空又正常?
用的是什么气体溅射,纯度?靶材是什么?
你的信息太少了。
3楼2014-10-31 23:25:27
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量子世界o

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2014-10-31 22:31:08
1.靶材不纯。2.真空室污染严重。3.充气系统异常。

谢谢你的回答,可是一般真空是污染严重,要抽到理想的真空度是不可能的,至于靶材,我们实验室以前就是使用的同种靶材没有出现过这样的问题!
拥抱理想
5楼2014-11-01 10:05:06
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