| 查看: 2291 | 回复: 23 | |||
shenyang_c金虫 (小有名气)
|
[交流]
【交流】磁控溅射 --抽不下去真空 已有19人参与
|
|
现在我的磁控溅射的机器的故障是：真空抽不下去了。经过如下： 打开机械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。 但如果直接将管子连到机械泵上，不经过旁抽阀的话，是可以抽真空的。 打电话给厂家，怀疑闸板阀漏气。O型圈已经换成新的了，还有哪里会漏气呢？ 抽真空系统是：机械泵-旁抽阀-闸板阀；机械泵-旁抽阀-溅射腔体。旁抽阀和抽粗真空的管子，使用一个类似三通的接口相接，抽粗真空的时候，会经过旁抽阀。 |
回复此楼» 猜你喜欢
2025年遐想
已经有5人回复
-
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有12人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
-
求个博导看看
已经有18人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？
已经有22人回复
- 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
已经有26人回复
- 【求助】磁控溅射的使用
已经有4人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
zguan
木虫 (正式写手)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 1659.7
- 散金: 23
- 红花: 4
- 帖子: 451
- 在线: 131.1小时
- 虫号: 825630
- 注册: 2009-08-10
- 性别: GG
- 专业: 其他无机非金属材料
2楼2010-07-08 10:05:27
3楼2010-07-08 17:15:09
4楼2010-07-08 21:07:02
cord 
铁杆木虫 (著名写手)
- 物理EPI: 1
- 应助: 186 (高中生)
- 金币: 8374.9
- 散金: 206
- 红花: 16
- 帖子: 1745
- 在线: 206.7小时
- 虫号: 514399
- 注册: 2008-02-29
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2010-07-08 22:12:57
shenyang_c
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 928.7
- 散金: 84
- 帖子: 214
- 在线: 102.7小时
- 虫号: 728917
- 注册: 2009-03-23
- 专业: 等离子体物理
6楼2010-07-09 08:39:18
shenyang_c
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 928.7
- 散金: 84
- 帖子: 214
- 在线: 102.7小时
- 虫号: 728917
- 注册: 2009-03-23
- 专业: 等离子体物理
7楼2010-07-09 08:44:33
8楼2010-07-09 09:16:27
9楼2010-07-09 09:31:49
农家仔
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 606.2
- 帖子: 55
- 在线: 35.5小时
- 虫号: 949818
- 注册: 2010-01-28
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2010-07-09 19:55:02