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582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射的使用 已有4人参与

我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还好，一会就突然没有辉光了，怎么调电压都上不去。不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！
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1楼 2010-05-24 15:49:28
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lvbo

金虫 (小有名气)
看一下真空有没问题
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2楼2010-05-24 16:11:14
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huangfeng82

银虫 (小有名气)
★
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靶表面状态、真空腔的清洁程度，都影响起辉。磁控溅射这种方法就是短期重复性非常好 时间一长就不好重复 特别是直流溅射。靶的导电性对起辉放电影响很大。
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3楼2010-05-27 09:34:59
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zhongaihua

新虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
Originally posted by 582072 at 2010-05-24 15:49:28:
我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还 ...

你用的什么靶？导电性怎么样？导电性不好就很容易出现你描述的现象。调大点工作气压可以解决这个问题
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4楼2010-12-08 19:05:25
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physics_cnu

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我认为，你的这个情况应该是发生了短路，造成短路的原因可能是，时间长了没有使用，导致里面有一些金属小片或颗粒连接了靶和它旁边的设备，有机会再交流
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5楼2010-12-09 09:06:15
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