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[交流]
【求助】磁控溅射的使用 已有4人参与
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| 我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还好，一会就突然没有辉光了，怎么调电压都上不去。不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！ |
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2楼2010-05-24 16:11:14
huangfeng82
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5楼2010-12-09 09:06:15
