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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射的使用 已有4人参与

我用直流磁控溅射制备薄膜,以前用一直都很正常,一段时间没用,后来一用,溅射一段时间后突然不起辉(也就是辉光突然没了),再怎么把电流调大,对应的电压都没有反应(电压升不上去),用了几次都这样,刚开始还好,一会就突然没有辉光了,怎么调电压都上不去。不知哪位仁兄知道是什么原因造成的,怎么调整。万分感谢!!!
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lvbo

金虫 (小有名气)

看一下真空有没问题
2楼2010-05-24 16:11:14
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huangfeng82

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
靶表面状态、真空腔的清洁程度,都影响起辉。磁控溅射这种方法就是短期重复性非常好 时间一长就不好重复 特别是直流溅射。靶的导电性对起辉放电影响很大。
3楼2010-05-27 09:34:59
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zhongaihua

新虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 582072 at 2010-05-24 15:49:28:
我用直流磁控溅射制备薄膜,以前用一直都很正常,一段时间没用,后来一用,溅射一段时间后突然不起辉(也就是辉光突然没了),再怎么把电流调大,对应的电压都没有反应(电压升不上去),用了几次都这样,刚开始还 ...

你用的什么靶?导电性怎么样?导电性不好就很容易出现你描述的现象。调大点工作气压可以解决这个问题
4楼2010-12-08 19:05:25
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physics_cnu

银虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我认为,你的这个情况应该是发生了短路,造成短路的原因可能是,时间长了没有使用,导致里面有一些金属小片或颗粒连接了靶和它旁边的设备,有机会再交流
5楼2010-12-09 09:06:15
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