应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 资源交流 » 【求助】磁控溅射的使用
51/1返回列表
查看: 1802  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射的使用 已有4人参与

我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还好，一会就突然没有辉光了，怎么调电压都上不去。不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-05-24 15:49:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lvbo

金虫 (小有名气)
看一下真空有没问题
赞一下 回复此楼
2楼2010-05-24 16:11:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangfeng82

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
靶表面状态、真空腔的清洁程度，都影响起辉。磁控溅射这种方法就是短期重复性非常好 时间一长就不好重复 特别是直流溅射。靶的导电性对起辉放电影响很大。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2010-05-27 09:34:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhongaihua

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 582072 at 2010-05-24 15:49:28:
我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还 ...

你用的什么靶？导电性怎么样？导电性不好就很容易出现你描述的现象。调大点工作气压可以解决这个问题
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-12-08 19:05:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

physics_cnu

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我认为，你的这个情况应该是发生了短路，造成短路的原因可能是，时间长了没有使用，导致里面有一些金属小片或颗粒连接了靶和它旁边的设备，有机会再交流
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-12-09 09:06:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 582072 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 FChKX8meu1ds 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:54 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:32 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:21 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:15 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:13 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:02 by Z7qfCsdIiD1T
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 5/250 2026-11-11 00:59 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 5/250 2026-11-11 00:53 by Z7qfCsdIiD1T
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 22:47 by Z7qfCsdIiD1T
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 21:02 by Z7qfCsdIiD1T
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 20:51 by Z7qfCsdIiD1T
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 4/200 2026-11-10 20:07 by Z7qfCsdIiD1T
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 5/250 2026-11-10 19:45 by Z7qfCsdIiD1T
[考博] 申请环境，微生物方向博士 +3 浅笑09 2026-11-08 3/150 2026-11-10 12:44 by 可淡不可忘
[考博] 27博士申请 +3 白白白ly 2026-11-09 3/150 2026-11-09 21:39 by szq0819
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 15/750 2026-11-09 13:19 by Equinoxhua
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 7/350 2026-11-06 02:13 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭