应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 资源交流 » 【求助】磁控溅射的使用
51/1返回列表
查看: 1804  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

582072

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】磁控溅射的使用 已有4人参与

我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还好，一会就突然没有辉光了，怎么调电压都上不去。不知哪位仁兄知道是什么原因造成的，怎么调整。万分感谢！！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-05-24 15:49:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhongaihua

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 582072 at 2010-05-24 15:49:28:
我用直流磁控溅射制备薄膜，以前用一直都很正常，一段时间没用，后来一用，溅射一段时间后突然不起辉（也就是辉光突然没了），再怎么把电流调大，对应的电压都没有反应（电压升不上去），用了几次都这样，刚开始还 ...

你用的什么靶？导电性怎么样？导电性不好就很容易出现你描述的现象。调大点工作气压可以解决这个问题
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2010-12-08 19:05:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

lvbo

金虫 (小有名气)
看一下真空有没问题
赞一下 回复此楼
2楼2010-05-24 16:11:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huangfeng82

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
靶表面状态、真空腔的清洁程度，都影响起辉。磁控溅射这种方法就是短期重复性非常好 时间一长就不好重复 特别是直流溅射。靶的导电性对起辉放电影响很大。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2010-05-27 09:34:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

physics_cnu

银虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我认为，你的这个情况应该是发生了短路，造成短路的原因可能是，时间长了没有使用，导致里面有一些金属小片或颗粒连接了靶和它旁边的设备，有机会再交流
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-12-09 09:06:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 5/250 2026-11-11 01:26 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:15 by Z7qfCsdIiD1T
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:10 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 6/300 2026-11-11 01:02 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 5/250 2026-11-11 00:53 by Z7qfCsdIiD1T
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 22:47 by Z7qfCsdIiD1T
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 FChKX8meu1ds 2026-11-09 4/200 2026-11-10 20:56 by Z7qfCsdIiD1T
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 cqv1zKnzd7hr 2026-11-09 5/250 2026-11-10 20:45 by Z7qfCsdIiD1T
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 5/250 2026-11-10 19:45 by Z7qfCsdIiD1T
[考博] 申请环境，微生物方向博士 +3 浅笑09 2026-11-08 3/150 2026-11-10 12:44 by 可淡不可忘
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +4 yexuqing 2026-11-04 6/300 2026-11-10 11:13 by susizheng
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 4/200 2026-11-10 01:29 by FChKX8meu1ds
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 12/600 2026-11-09 13:26 by Equinoxhua
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 14/700 2026-11-09 11:52 by GwrQVVR6Oenx
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 16/800 2026-11-09 11:47 by GwrQVVR6Oenx
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 15/750 2026-11-09 11:41 by GwrQVVR6Oenx
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 9/450 2026-11-08 22:46 by l48hFd8Nwae2
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭