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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【交流】磁控溅射 --抽不下去真空
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shenyang_c

金虫 (小有名气)

[交流] 【交流】磁控溅射 --抽不下去真空 已有19人参与

现在我的磁控溅射的机器的故障是：真空抽不下去了。经过如下：

打开机械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。
但如果直接将管子连到机械泵上，不经过旁抽阀的话，是可以抽真空的。
打电话给厂家，怀疑闸板阀漏气。O型圈已经换成新的了，还有哪里会漏气呢？

抽真空系统是：机械泵-旁抽阀-闸板阀；机械泵-旁抽阀-溅射腔体。旁抽阀和抽粗真空的管子，使用一个类似三通的接口相接，抽粗真空的时候，会经过旁抽阀。
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1楼 2010-07-08 09:09:34
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
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tongling921(金币+1):支持回帖交流 2010-07-08 23:22:41
更可能的情况是旁抽阀这一段气路有问题。
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5楼2010-07-08 22:12:57
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zguan

木虫 (正式写手)
★ ★
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tongling921(金币+1):支持回帖交流 2010-07-08 23:22:27
遇到过相同的问题 也是300Pa左右 后来不知道怎么弄好的
同问
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2楼2010-07-08 10:05:27
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德波罗依

金虫 (小有名气)
★ ★
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tongling921(金币+1):支持回帖交流 2010-07-08 23:22:32
腔体没问题  泵也没问题  那只能说明气路和阀门的问题了  楼主好好查查吧  找漏急不得的
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3楼2010-07-08 17:15:09
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hustqy

金虫 (小有名气)
★ ★
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tongling921(金币+1):支持回帖交流 2010-07-08 23:22:37
我们的仪器很老了前段时间也出现过类似的问题  不过没有你们的严重  我把把机械泵的油换了后好了一些
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加油@@
4楼2010-07-08 21:07:02
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