【交流】磁控溅射 --抽不下去真空 - 物理 - 凝聚态物理 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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农家仔

铜虫 (小有名气)

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300帕用酒精或丙酮检查有点困难地说

好吃不懒做

11楼2010-07-09 19:55:42

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cord

铁杆木虫 (著名写手)

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更可能是不是漏气，是电磁阀坏了，不能开启。

引用回帖:

Originally posted by shenyang_c at 2010-07-09 08:44:33:

现在不经过旁抽阀，才能抽下去真空。是不是说明旁抽阀漏气啊？是不是表明旁抽阀一直是打开的，空气是从分子泵闸板阀那里过来的？

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12楼2010-07-09 23:22:08

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chenguang5895

木虫 (著名写手)

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leak 啊。用IPA或者酒精实施。

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13楼2010-07-10 10:56:56

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wei.ji

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300Pa...这玩意管用么？

引用回帖:

Originally posted by 德波罗依 at 2010-07-09 09:16:27:

最简单的方法用丙酮或者酒精试试看每个地方都滴下看看真空有没有变化。

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http://sim.phys.ruc.edu.cn

14楼2010-07-12 10:27:09

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mruniverse

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娃的爹

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搞不好是波纹管那个地方有空洞了，我遇到过一次，是波纹管一个位置锈蚀了一个小孔

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以后是做爹的人啦

15楼2010-07-12 12:38:48

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achai

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建议用酒精检漏

木虫

16楼2010-07-12 12:43:12

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kehouwu

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300Pa，用酒精差不多能检漏

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17楼2010-07-17 16:55:08

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yjyang07

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引用回帖:

Originally posted by shenyang_c at 2010-07-08 09:09:34:
现在我的磁控溅射的机器的故障是：真空抽不下去了。经过如下：

打开机械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。
但如果直接将管子连到机械泵上，不经过旁抽阀的话，是可以抽真空的。
打电话给厂家，怀疑闸板阀 ...

漏气了很明显
慢慢检漏吧
不是很困难

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天行健，君子以自强不息～～～～～

18楼2010-07-25 22:32:16

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issp_summer

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会不会你机械泵油灌太多了, 我好几年前碰到过同样的问题, 记得当初把灌油口的盖子打开,后来就好了

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19楼2010-07-26 16:52:29

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sashuiche

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建议查看下旁抽阀和电磁阀两个地方，同时找漏。

20楼2010-07-30 11:30:02

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