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农家仔

铜虫 (小有名气)

300帕用酒精或丙酮检查有点困难地说
好吃不懒做
11楼2010-07-09 19:55:42
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
更可能是不是漏气,是电磁阀坏了,不能开启。
引用回帖:
Originally posted by shenyang_c at 2010-07-09 08:44:33:



现在不经过旁抽阀,才能抽下去真空。是不是说明旁抽阀漏气啊?是不是表明旁抽阀一直是打开的,空气是从分子泵闸板阀那里过来的?

12楼2010-07-09 23:22:08
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chenguang5895

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
leak 啊。 用IPA或者酒精实施。
13楼2010-07-10 10:56:56
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wei.ji

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
300Pa...这玩意管用么?
引用回帖:
Originally posted by 德波罗依 at 2010-07-09 09:16:27:


最简单的方法  用丙酮或者酒精试试看  每个地方都滴下  看看真空有没有变化。

http://sim.phys.ruc.edu.cn
14楼2010-07-12 10:27:09
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
搞不好是波纹管那个地方有空洞了,我遇到过一次,是波纹管一个位置锈蚀了一个小孔
以后是做爹的人啦
15楼2010-07-12 12:38:48
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achai

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
建议用酒精检漏
木虫
16楼2010-07-12 12:43:12
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kehouwu

银虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
300Pa,用酒精差不多能检漏
17楼2010-07-17 16:55:08
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yjyang07

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by shenyang_c at 2010-07-08 09:09:34:
现在我的磁控溅射的机器的故障是:真空抽不下去了。经过如下:

打开机械泵不能真空抽不下去了,一直是300Pa。
但如果直接将管子连到机械泵上,不经过旁抽阀的话,是可以抽真空的。
打电话给厂家,怀疑闸板阀 ...

漏气了 很明显
慢慢检漏吧
不是很困难
天行健,君子以自强不息~~~~~
18楼2010-07-25 22:32:16
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issp_summer

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
会不会你机械泵油灌太多了, 我好几年前碰到过同样的问题, 记得当初把灌油口的盖子打开,后来就好了
19楼2010-07-26 16:52:29
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sashuiche

银虫 (小有名气)

建议查看下旁抽阀和电磁阀两个地方,同时找漏。
20楼2010-07-30 11:30:02
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