| 查看: 2305 | 回复: 23 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
shenyang_c金虫 (小有名气)
|
[交流]
【交流】磁控溅射 --抽不下去真空 已有19人参与
|
||
|
现在我的磁控溅射的机器的故障是：真空抽不下去了。经过如下： 打开机械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。 但如果直接将管子连到机械泵上，不经过旁抽阀的话，是可以抽真空的。 打电话给厂家，怀疑闸板阀漏气。O型圈已经换成新的了，还有哪里会漏气呢？ 抽真空系统是：机械泵-旁抽阀-闸板阀；机械泵-旁抽阀-溅射腔体。旁抽阀和抽粗真空的管子，使用一个类似三通的接口相接，抽粗真空的时候，会经过旁抽阀。 |
回复此楼» 猜你喜欢
不自信的我
已经有11人回复
-
北核录用
已经有3人回复
-
要不要辞职读博？
已经有6人回复
-
实验室接单子
已经有3人回复
-
磺酰氟产物，毕不了业了！
已经有8人回复
-
求助:我三月中下旬出站，青基依托单位怎么办？
已经有10人回复
-
26申博（荧光探针方向，有机合成）
已经有4人回复
-
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有26人回复
-
2026年机械制造与材料应用国际会议 （ICMMMA 2026）
已经有4人回复
-
Cas 72-43-5需要30g，定制合成，能接单的留言
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜 真空室污染严重 壁上和底部有好多红蓝条纹
已经有15人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 请教一下做磁控溅射镀膜的时候，氩气，氧气，氮气电离得时候分别是什么颜色？
已经有22人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【求助】为什么加热之后抽真空抽不下去？
已经有22人回复
- 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
已经有26人回复
- 【求助】磁控溅射的使用
已经有4人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
- 【求助】磁控溅射偏压为什么加不上
已经有12人回复
issp_summer
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 959.3
- 帖子: 208
- 在线: 34.3小时
- 虫号: 70075
- 注册: 2005-05-24
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
19楼2010-07-26 16:52:29