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shenyang_c

金虫 (小有名气)

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[交流] 【交流】磁控溅射 --抽不下去真空已有19人参与

现在我的磁控溅射的机器的故障是：真空抽不下去了。经过如下：

打开机械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。
但如果直接将管子连到机械泵上，不经过旁抽阀的话，是可以抽真空的。
打电话给厂家，怀疑闸板阀漏气。O型圈已经换成新的了，还有哪里会漏气呢？

抽真空系统是：机械泵-旁抽阀-闸板阀；机械泵-旁抽阀-溅射腔体。旁抽阀和抽粗真空的管子，使用一个类似三通的接口相接，抽粗真空的时候，会经过旁抽阀。

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1楼 2010-07-08 09:09:34

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yjyang07

木虫 (著名写手)

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引用回帖:

Originally posted by shenyang_c at 2010-07-08 09:09:34:
现在我的磁控溅射的机器的故障是：真空抽不下去了。经过如下：

打开机械泵不能真空抽不下去了，一直是300Pa。
但如果直接将管子连到机械泵上，不经过旁抽阀的话，是可以抽真空的。
打电话给厂家，怀疑闸板阀 ...

漏气了很明显
慢慢检漏吧
不是很困难