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[求助]
求解决分子泵问题!
跪求解决分子泵问题!!
我们用的沈阳科兴的磁控溅射仪,半年没用了,现在开始使用,可是设备在工作期间,分子泵自动停止运转,以前抽真空几天都不会出现这种情况,上次拿氮气枪吹了吹分子泵电源,用了一周正常。昨晚8点开始抽真空,10点的时候抽到10的-4,早上一看停了5555555,这是怎么回事,请高手指点!!急急急!!!
[ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ] |
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