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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 求解决分子泵问题!

跪求解决分子泵问题!!
我们用的沈阳科兴的磁控溅射仪,半年没用了,现在开始使用,可是设备在工作期间,分子泵自动停止运转,以前抽真空几天都不会出现这种情况,上次拿氮气枪吹了吹分子泵电源,用了一周正常。昨晚8点开始抽真空,10点的时候抽到10的-4,早上一看停了5555555,这是怎么回事,请高手指点!!急急急!!!

[ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ]
上善若水任方圆
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by liu2004m at 2012-03-24 05:30:53:
冷却很重要,以后使用注意点就行了

嗯,好的,就是外部表面上看着没事,拆开一看堵住了555
上善若水任方圆
5楼2012-03-26 14:07:57
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liu2004m

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
yangac_: 金币+1, 博学EPI+1 2012-03-23 16:07:24
yangac_: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-26 14:08:31
这个最好问问专业人员,是不是电源出问题了
2楼2012-03-23 14:41:47
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2012-03-23 09:41:47:
这个最好问问专业人员,是不是电源出问题了

捣鼓了一下去,是水路问题,有的接口处堵住了,清理干净了,希望一切分子泵以后一切正常,别再给我添乱了!受不了啦!
上善若水任方圆
3楼2012-03-23 18:32:35
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liu2004m

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★ ★ ★
yangac_: 金币+3, ★★★很有帮助 2012-03-26 14:08:14
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangac_ at 2012-03-23 18:32:35:
捣鼓了一下去,是水路问题,有的接口处堵住了,清理干净了,希望一切分子泵以后一切正常,别再给我添乱了!受不了啦!

冷却很重要,以后使用注意点就行了
4楼2012-03-24 10:30:53
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