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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

南漂女青椒

[求助] 求解决分子泵问题！

跪求解决分子泵问题！！
我们用的沈阳科兴的磁控溅射仪，半年没用了，现在开始使用，可是设备在工作期间，分子泵自动停止运转，以前抽真空几天都不会出现这种情况，上次拿氮气枪吹了吹分子泵电源，用了一周正常。昨晚8点开始抽真空，10点的时候抽到10的-4，早上一看停了5555555，这是怎么回事，请高手指点！！急急急！！！

[ Last edited by Pd7577 on 2012-3-23 at 14:13 ]
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上善若水任方圆
1楼 2012-03-23 08:52:34
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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★ ★ ★
yangac_: 金币+1, 博学EPI+1 2012-03-23 16:07:24
yangac_: 金币+2, ★★★很有帮助 2012-03-26 14:08:31
这个最好问问专业人员，是不是电源出问题了
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2楼2012-03-23 14:41:47
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

南漂女青椒
引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2012-03-23 09:41:47:
这个最好问问专业人员，是不是电源出问题了

捣鼓了一下去，是水路问题，有的接口处堵住了，清理干净了，希望一切分子泵以后一切正常，别再给我添乱了！受不了啦！
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上善若水任方圆
3楼2012-03-23 18:32:35
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liu2004m

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yangac_: 金币+3, ★★★很有帮助 2012-03-26 14:08:14
引用回帖:
3楼: Originally posted by yangac_ at 2012-03-23 18:32:35:
捣鼓了一下去，是水路问题，有的接口处堵住了，清理干净了，希望一切分子泵以后一切正常，别再给我添乱了！受不了啦！

冷却很重要，以后使用注意点就行了
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4楼2012-03-24 10:30:53
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

南漂女青椒
引用回帖:
4楼: Originally posted by liu2004m at 2012-03-24 05:30:53:
冷却很重要，以后使用注意点就行了

嗯，好的，就是外部表面上看着没事，拆开一看堵住了555
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上善若水任方圆
5楼2012-03-26 14:07:57
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