| 查看: 2687 | 回复: 12 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射设备真空问题
|
|||
| 求助：沈科仪的磁控设备，之前溅射了十来次的石墨靶好好的。在一次用吸尘器清理腔体和撤换贴在腔体壁上的锡箔纸后，开机，抽真空，发现电阻真空计一直显示1*10^5，当机械泵抽了一个半小时后（平时15分钟就能到10Pa），开启分子泵，分子泵转到127就自动停下来了，并且这还有一些噪音。后来试了试，发现机械泵抽二十分钟后，过两天，破真空依然要几分钟的时间。这是不是说明不漏气呀？今天换了一个新的电阻规管，发现抽气后，显示9.9*10^4，抽几分钟后显示9.5^104，最后一直显示9.4*10^4，不管机械泵抽多久都这个数。请问各位，这种情况问题一般出在哪呀？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 合成制备 |
» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有1人回复
-
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有234人回复
-
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生
已经有0人回复
-
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号
已经有0人回复
-
XPS/?λXPS
已经有0人回复
-
河北大学-26年秋季入学化学博士招生
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 天津-磁控溅射镀膜设备-镀金膜银膜
已经有3人回复
- 磁控溅射设备出现问题
已经有6人回复
- 磁控溅射电阻真空计的问题
已经有24人回复
- 加热对磁控溅射辉光影响
已经有6人回复
- 求助：磁控溅射真空抽不上来
已经有10人回复
- 磁控溅射低真空计异常求助
已经有4人回复
- 磁控溅射氮化硅中氧杂质的问题
已经有0人回复
- 求解决分子泵问题！
已经有4人回复
- 磁控溅射镀铝的问题请教
已经有0人回复
- 请问一个关于磁控溅射镀膜的问题
已经有2人回复
- 【求助】关于在金刚石表面镀钛的问题
已经有6人回复
- 镀银设备及方法求助
已经有15人回复
- 磁控溅射漏气
已经有11人回复
5楼2012-11-14 15:49:17
我是柯兴宇啊
新虫 (初入文坛)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 77.8
- 散金: 10
- 帖子: 15
- 在线: 9.8小时
- 虫号: 1751154
- 注册: 2012-04-12
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2012-11-14 09:44:06
zhaolianbo
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 381.2
- 散金: 3832
- 红花: 6
- 帖子: 578
- 在线: 179.9小时
- 虫号: 1003022
- 注册: 2010-04-22
- 性别: GG
- 专业: 集成电路制造与封装
3楼2012-11-14 15:26:15
【答案】应助回帖
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
msehao: 金币+2, ★有帮助 2012-11-16 22:22:53
感谢参与，应助指数 +1
msehao: 金币+2, ★有帮助 2012-11-16 22:22:53
|
注意检查一些阀门有没有关好.以前做实验的时候如果接受别人用过的真空设备我都要每个开关阀门以及数值设定都检查一下再操作. 操作的时候如果出现分子泵自动停止,是没有报警就停止了么?还是报警了才停止的? 清理腔室的时候可能碰到一些传感器的线路,检查一下有没有损坏. 如果漏气的话,检查真空室的盖子的密封圈有没有问题;检查机械手的波纹管有没有漏气(来回慢慢拉看看真空度变化明显不);让机械泵一直抽,不要着急开分子泵,看看真空能不能下降到低真空计的下限; 关闭隔板阀,打开电磁阀,用机械泵抽分子泵,可能有所帮助. |
4楼2012-11-14 15:34:40
10