磁控溅射设备真空问题 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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新虫 (初入文坛)

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10楼: Originally posted by oxky at 2012-11-15 13:28:48
10有8，9就是漏气了，分子泵负载过大就是自己保护停了。。泵组没异常响声的话应该没问题。用酒精沿着接口阿，阀门之类的喷。喷到那里有真空波动，就是哪里漏，处理之。

今天检查了下机械泵，发现上面的电磁阀的保险丝烧断了，一开机械泵，电磁阀的尾部就吸气进去，本来这个部件在工作时应该关闭，而等机械泵关闭时这个才开始吸气维持里面的气压平衡的。先买个保险丝试试。只是这个保险丝是100mA规格的，难买。网上看看。

11楼2012-11-15 15:16:29

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新虫 (初入文坛)

多谢大家的意见。最后找出问题了，是电磁阀的保险丝断了，换了新的，运行正常了。

12楼2012-11-16 22:21:18

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银虫 (初入文坛)

引用回帖:

5楼: Originally posted by msehao at 2012-11-14 15:49:17
今天都试过了。估计是机械泵的问题或者真空显示计的问题。暂时排除了腔体漏气的可能性。分子泵应该是没有报警就停止了。苏州方昇科技，你接触过这个厂家没？...

请问下你是如何排除腔体漏气的可能的？

13楼2015-11-30 22:39:04

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