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磁控溅射设备真空问题
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| 求助：沈科仪的磁控设备，之前溅射了十来次的石墨靶好好的。在一次用吸尘器清理腔体和撤换贴在腔体壁上的锡箔纸后，开机，抽真空，发现电阻真空计一直显示1*10^5，当机械泵抽了一个半小时后（平时15分钟就能到10Pa），开启分子泵，分子泵转到127就自动停下来了，并且这还有一些噪音。后来试了试，发现机械泵抽二十分钟后，过两天，破真空依然要几分钟的时间。这是不是说明不漏气呀？今天换了一个新的电阻规管，发现抽气后，显示9.9*10^4，抽几分钟后显示9.5^104，最后一直显示9.4*10^4，不管机械泵抽多久都这个数。请问各位，这种情况问题一般出在哪呀？ |
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7楼2012-11-14 18:59:03
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2楼2012-11-14 09:44:06
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3楼2012-11-14 15:26:15
【答案】应助回帖
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注意检查一些阀门有没有关好.以前做实验的时候如果接受别人用过的真空设备我都要每个开关阀门以及数值设定都检查一下再操作. 操作的时候如果出现分子泵自动停止,是没有报警就停止了么?还是报警了才停止的? 清理腔室的时候可能碰到一些传感器的线路,检查一下有没有损坏. 如果漏气的话,检查真空室的盖子的密封圈有没有问题;检查机械手的波纹管有没有漏气(来回慢慢拉看看真空度变化明显不);让机械泵一直抽,不要着急开分子泵,看看真空能不能下降到低真空计的下限; 关闭隔板阀,打开电磁阀,用机械泵抽分子泵,可能有所帮助. |
4楼2012-11-14 15:34:40
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