24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2827  |  回复: 7

chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜? 已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗?有相关的文献吗?急求!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

半导体技术

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊
2楼2014-08-25 13:45:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2014-08-25 16:36:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

于士辉

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:11
磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易,不好生长。
4楼2014-08-25 16:54:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:16
确实是不太好搞,我是做SiON薄膜
5楼2014-08-25 22:35:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不好溅射,绝缘体的靶材不好整,你可以搜下all sputter TFT之类的或许有相关文献
6楼2014-09-12 13:27:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

齐风旭日

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

速率太慢,不好长丫,建议用PECVD,很好长
7楼2014-09-12 21:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hjhqq8768029

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zxy19871129 at 2014-08-25 22:35:46
确实是不太好搞,我是做SiON薄膜

楼主能不能分享一下溅射SiON的基本经验啊,我想做,没人做过,不知道参数怎么设置..谢谢
8楼2015-01-15 20:55:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 chicktj 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 284求调剂 +9 让我上岸吧阿西 2026-04-09 11/550 2026-04-10 19:18 by 靖jing
[考研] 346,工科0854求调剂,专硕 +5 moser233 2026-04-10 6/300 2026-04-10 18:04 by 周邵阳
[考研] 调剂 +18 小张ZA 2026-04-10 19/950 2026-04-10 17:35 by laoshidan
[考研] 机械专368 有去处吗 +4 种大树 2026-04-10 4/200 2026-04-10 15:31 by jiajinhpu
[考研] 调剂申请086000一志愿西北农林科技大学生物与医药320分-本科齐鲁工业大学 +3 美美女士 2026-04-09 3/150 2026-04-10 10:31 by liuhuiying09
[考研] 一志愿鲁东大学071000生物学学硕初试分数276求调剂 +20 慕绝cc 2026-04-09 24/1200 2026-04-10 10:22 by xujun0624
[考研] 一志愿085502,267分求调剂 +10 再忙也要吃饭啊 2026-04-08 11/550 2026-04-09 19:51 by gong120082
[考研] 085600材料与化工专硕329 求调剂 +24 额cc 2026-04-06 25/1250 2026-04-09 16:01 by wp06
[考博] 申博 +8 IQwQl 2026-04-04 8/400 2026-04-08 09:43 by 0608104024
[考研] 263分B区求调剂 +6 李nihao 2026-04-08 6/300 2026-04-08 09:38 by 南开小綦
[考研] 313求调剂 +3 十六拾陆 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:20 by lbsjt
[考研] 312求调剂 +18 gtw1 2026-04-06 20/1000 2026-04-07 18:16 by 蓝云思雨
[考研] 295求调剂 +18 xndjjj 2026-04-04 19/950 2026-04-07 11:02 by wangjy2002
[考研] 一志愿华中农业大学0710(A)初试329分 求调剂 +5 一名26考研生 2026-04-04 5/250 2026-04-07 08:54 by 18828373951
[考研] 302分求调剂 一志愿安徽大学085601 +12 zyx上岸! 2026-04-04 12/600 2026-04-07 02:09 by BruceLiu320
[考研] 生物学学硕求调剂:351分一志愿南京师范大学生物学专业 +6 …~、王…~ 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:54 by macy2011
[考研] 327求调剂 +4 拾光任染 2026-04-05 4/200 2026-04-05 20:16 by 南航~万老师
[考研] 工科277分求调剂材料 +8 上了上了上哦 2026-04-05 9/450 2026-04-05 13:05 by wwytracy
[考研] 295求调剂 +4 A你好研究生 2026-04-04 5/250 2026-04-04 22:46 by yu221
[考研] 一志愿沪9,求生物学调剂,326分 +6 刘墨墨 2026-04-04 6/300 2026-04-04 19:44 by 唐沐儿
信息提示
请填处理意见