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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射氮化硅薄膜？
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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜？ 已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗？有相关的文献吗？急求！
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1楼 2014-08-21 08:52:40
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊
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2楼2014-08-25 13:45:52
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2014-08-25 16:36:18
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于士辉

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, ★有帮助 2014-09-02 15:30:11
磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易，不好生长。
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4楼2014-08-25 16:54:57
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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, ★有帮助 2014-09-02 15:30:16
确实是不太好搞，我是做SiON薄膜
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5楼2014-08-25 22:35:46
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不好溅射，绝缘体的靶材不好整，你可以搜下all sputter TFT之类的或许有相关文献
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6楼2014-09-12 13:27:20
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齐风旭日

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

速率太慢，不好长丫，建议用PECVD，很好长
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7楼2014-09-12 21:28:42
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hjhqq8768029

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zxy19871129 at 2014-08-25 22:35:46
确实是不太好搞，我是做SiON薄膜

楼主能不能分享一下溅射SiON的基本经验啊，我想做，没人做过，不知道参数怎么设置..谢谢
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8楼2015-01-15 20:55:40
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