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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜? 已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗?有相关的文献吗?急求!
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不好溅射,绝缘体的靶材不好整,你可以搜下all sputter TFT之类的或许有相关文献
6楼2014-09-12 13:27:20
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查看全部 8 个回答

zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊
2楼2014-08-25 13:45:52
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2014-08-25 16:36:18
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于士辉

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:11
磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易,不好生长。
4楼2014-08-25 16:54:57
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