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chicktj

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜？已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗？有相关的文献吗？急求！

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半导体技术

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1楼 2014-08-21 08:52:40

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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

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专业: 半导体光电子器件

【答案】应助回帖

不好溅射，绝缘体的靶材不好整，你可以搜下all sputter TFT之类的或许有相关文献

6楼2014-09-12 13:27:20

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zjlenny

木虫 (小有名气)

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注册: 2014-07-16

【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊

2楼2014-08-25 13:45:52

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fuyadong01

禁虫 (小有名气)

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3楼2014-08-25 16:36:18

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于士辉

木虫 (文坛精英)

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专业: 新型信息器件

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, ★有帮助 2014-09-02 15:30:11

磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易，不好生长。

4楼2014-08-25 16:54:57

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