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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜? 已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗?有相关的文献吗?急求!
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

氮化硅一般都是用PECVD生长的啊
2楼2014-08-25 13:45:52
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2014-08-25 16:36:18
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于士辉

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:11
磁控溅射制备非氧化薄膜不是很容易,不好生长。
4楼2014-08-25 16:54:57
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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, 有帮助 2014-09-02 15:30:16
确实是不太好搞,我是做SiON薄膜
5楼2014-08-25 22:35:46
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不好溅射,绝缘体的靶材不好整,你可以搜下all sputter TFT之类的或许有相关文献
6楼2014-09-12 13:27:20
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齐风旭日

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

速率太慢,不好长丫,建议用PECVD,很好长
7楼2014-09-12 21:28:42
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hjhqq8768029

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zxy19871129 at 2014-08-25 22:35:46
确实是不太好搞,我是做SiON薄膜

楼主能不能分享一下溅射SiON的基本经验啊,我想做,没人做过,不知道参数怎么设置..谢谢
8楼2015-01-15 20:55:40
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