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chicktj

新虫 (初入文坛)

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[求助] 磁控溅射氮化硅薄膜？已有5人参与

请问有人用陶瓷靶制备过氮化硅薄膜吗？有相关的文献吗？急求！

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1楼 2014-08-21 08:52:40

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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
chicktj: 金币+5, ★有帮助 2014-09-02 15:30:16

确实是不太好搞，我是做SiON薄膜

5楼2014-08-25 22:35:46

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