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chicktj

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[求助] 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？

我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。

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求问AZO薄膜电阻率问题已经有11人回复
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1楼 2013-05-08 09:54:00

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codesertea

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-10 13:28:29
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-13 10:48:25

可以看看载流子浓度和霍尔迁移率，载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2，这样薄膜会偏黄色（也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低）；迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好（这个打XRD可以看出），这两方面都解决了就可以看是不是靶材的问题。

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2楼2013-05-09 10:30:21

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codesertea

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3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢...

刚才写错了，红外波段透过高，载流子浓度低，上面那个图从下到上，载流子浓度逐渐降低。

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5楼2013-05-10 18:03:36

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chicktj

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2楼: Originally posted by codesertea at 2013-05-09 10:30:21
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率，载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2，这样薄膜会偏黄色（也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低）；迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好（这个打XRD可以看出），这两方 ...

请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢

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3楼2013-05-10 13:29:05

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codesertea

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3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢...

红外波段吸收高，载流子浓度低，如下图

1.jpg

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4楼2013-05-10 15:11:49

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chicktj

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5楼: Originally posted by codesertea at 2013-05-10 18:03:36
刚才写错了，红外波段透过高，载流子浓度低，上面那个图从下到上，载流子浓度逐渐降低。...

非常感谢！

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6楼2013-05-13 10:48:57

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★ ★ ★ ★ ★ ★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2013-05-13 21:38:05
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-06-08 10:37:25

首先，我之前做的直流磁控溅射做出来的薄膜质量也会比射频溅射的差很多，我不清楚这是我们设备的问题还是其他，不过理论上貌似射频做的会好一些。其次，楼主做的温度是多少的，如果是室温的话，这种情况还是有可能的，在一定的范围内，温度越高电学性能越好，而且透过率也会好些。第三，楼主膜厚也不算是太薄也不算是太厚，膜很薄的情况下电学性能恶化比较快。我认为可能还是楼主在溅射过程中的溅射工艺有不足的地方，目前做靶的应该做的还可以。另外，做个广告，我们组做AZO，从原料到靶材到薄膜一条龙。靶材是高性能靶材，经过专家认定的，如果想要的话可以联系。

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