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直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
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| 我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。 |
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zhenwuhuang
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【答案】应助回帖
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fbqrdzs: 金币+2, 应助指数+1, 有帮助。 2013-06-12 21:44:53
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| 直流磁控溅射制备大面积AZO透明导电薄膜。http://www.docin.com/p-162668031.html |
8楼2013-05-13 11:31:44
codesertea
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codesertea
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4楼2013-05-10 15:11:49
