应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
51/1返回列表
查看: 2516  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？

我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-05-08 09:54:00
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

codesertea

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢...

红外波段吸收高，载流子浓度低，如下图

1.jpg
赞一下 回复此楼
4楼2013-05-10 15:11:49
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

codesertea

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-10 13:28:29
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-13 10:48:25
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率，载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2，这样薄膜会偏黄色（也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低）；迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好（这个打XRD可以看出），这两方面都解决了就可以看是不是靶材的问题。
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2013-05-09 10:30:21
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chicktj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by codesertea at 2013-05-09 10:30:21
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率，载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2，这样薄膜会偏黄色（也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低）；迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好（这个打XRD可以看出），这两方 ...

请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢
赞一下 回复此楼
3楼2013-05-10 13:29:05
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

codesertea

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢...

刚才写错了，红外波段透过高，载流子浓度低，上面那个图从下到上，载流子浓度逐渐降低。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2013-05-10 18:03:36
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 071000生物学调剂求助 +17 zzzzwww 2026-04-09 20/1000 2026-04-10 15:55 by 求调剂zz
[考研] 材料工程085601，270求调剂 +27 @ASDF1234 2026-04-08 29/1450 2026-04-10 10:48 by 紫翼精灵
[考研] 269求调剂 +10 啊啊我我 2026-04-07 10/500 2026-04-10 10:38 by 高维春
[考研] 调剂 +10 卷卷卷心菜_ 2026-04-09 10/500 2026-04-10 09:53 by Delta2012
[考研] 考研二轮调剂 +8 故人?? 2026-04-09 8/400 2026-04-10 09:44 by 青梅duoduo
[考研] 生物学求调剂 一志愿沪9，326分 +7 刘墨墨 2026-04-06 7/350 2026-04-10 08:11 by kangsm
[考研] 0854调剂 +10 长弓傲 2026-04-09 11/550 2026-04-09 19:03 by 探123
[考研] 化学调剂求助 +14 LULONG1 2026-04-03 19/950 2026-04-09 10:43 by chenxi233
[考研] 328求调剂 +17 lftmya 2026-04-07 18/900 2026-04-09 08:05 by 5268321
[考研] 353求调剂 +8 晴空万里air 2026-04-07 8/400 2026-04-09 00:18 by GouQ
[考研] 270求调剂 +3 031127 2026-04-06 4/200 2026-04-08 21:00 by 逆水乘风
[考研] 机械工程313分找工科调剂 +3 双一流本科机械 2026-04-08 3/150 2026-04-08 20:41 by 土木硕士招生
[考研] 求调剂 一志愿西南交通大学085701环境工程 282分 +15 多多爱吃汉堡 2026-04-04 16/800 2026-04-08 11:39 by i_cooler
[考研] 336求调剂，一志愿中科大 +9 墨彧 yuyu 2026-04-06 9/450 2026-04-08 11:24 by 想读书的菌菌
[考研] 288环境专硕,求调材料方向 +35 lllllos 2026-04-04 39/1950 2026-04-07 23:24 by 一只好果子?
[考研] 求调剂 +10 chenxrlkx 2026-04-05 10/500 2026-04-06 11:31 by 猪会飞
[考研] 295求调剂 +4 A你好研究生 2026-04-04 5/250 2026-04-04 22:46 by yu221
[考研] 320求调剂 +3 一样圆 2026-04-04 3/150 2026-04-04 22:29 by 啵啵啵0119
[考研] 求调剂 +3 农业工程与信息� 2026-04-04 3/150 2026-04-04 12:19 by 舍而后得
[考研] 求生物学专业调剂-332分 +5 云朵遛弯指南 2026-04-04 5/250 2026-04-04 10:05 by rzh123456
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭