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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？
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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大？

我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜，薄膜厚度三四百纳米，用四探针仪测方块电阻，总是几千K欧姆，要不然就干脆根本大到测不出电阻，偶尔碰巧能做到几百欧姆，但是重复条件又不行，非常的困惑，靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶，询问他们他们也说不太可能，请高手指点，拜谢啊。。。
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1楼 2013-05-08 09:54:00
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chicktj

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by codesertea at 2013-05-09 10:30:21
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率，载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2，这样薄膜会偏黄色（也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低）；迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好（这个打XRD可以看出），这两方 ...

请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢
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3楼2013-05-10 13:29:05
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codesertea

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-10 13:28:29
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-13 10:48:25
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率，载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2，这样薄膜会偏黄色（也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低）；迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好（这个打XRD可以看出），这两方面都解决了就可以看是不是靶材的问题。
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2楼2013-05-09 10:30:21
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codesertea

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢...

红外波段吸收高，载流子浓度低，如下图

1.jpg
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4楼2013-05-10 15:11:49
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codesertea

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低，谢谢...

刚才写错了，红外波段透过高，载流子浓度低，上面那个图从下到上，载流子浓度逐渐降低。
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5楼2013-05-10 18:03:36
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