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直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大?
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| 我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜,薄膜厚度三四百纳米,用四探针仪测方块电阻,总是几千K欧姆,要不然就干脆根本大到测不出电阻,偶尔碰巧能做到几百欧姆,但是重复条件又不行,非常的困惑,靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶,询问他们他们也说不太可能,请高手指点,拜谢啊。。。 |
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majieliefu
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10楼2013-06-12 18:33:24
codesertea
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codesertea
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4楼2013-05-10 15:11:49














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