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汕头大学海洋科学接受调剂
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chicktj

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大?

我使用直流磁控溅射AZO陶瓷靶做的AZO薄膜,薄膜厚度三四百纳米,用四探针仪测方块电阻,总是几千K欧姆,要不然就干脆根本大到测不出电阻,偶尔碰巧能做到几百欧姆,但是重复条件又不行,非常的困惑,靶材是北京蒙泰的AZO陶瓷靶,询问他们他们也说不太可能,请高手指点,拜谢啊。。。
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majieliefu

银虫 (小有名气)

引用回帖:
9楼: Originally posted by 期待钝化 at 2013-05-29 16:35:26
吸收高,表明载流子少??????...

不是的 本质原理是:红外波长容易与载流子发生谐振被吸收,所以, 载流子浓度越高,红外透过率就越差~
10楼2013-06-12 18:33:24
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codesertea

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-10 13:28:29
chicktj: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-05-13 10:48:25
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率,载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2,这样薄膜会偏黄色(也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低);迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好(这个打XRD可以看出),这两方面都解决了就可以看是不是靶材的问题。
2楼2013-05-09 10:30:21
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chicktj

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by codesertea at 2013-05-09 10:30:21
可以看看载流子浓度和霍尔迁移率,载流子浓度小可能是溅射气氛里有O2,这样薄膜会偏黄色(也可以从红外波段的吸收光谱看的出载流子浓度高低);迁移率低的话可能是因为薄膜结晶性不好(这个打XRD可以看出),这两方 ...

请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低,谢谢
3楼2013-05-10 13:29:05
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codesertea

金虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by chicktj at 2013-05-10 13:29:05
请问从红外波段的吸收光谱怎么看载流子浓度高低,谢谢...

红外波段吸收高,载流子浓度低,如下图

1.jpg

4楼2013-05-10 15:11:49
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